复合式分子泵是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合，集两种泵的优点于一体。泵在很宽的压力范围内 ((10-6 ～ 1pa) 具有较大的抽速和较高的压缩比，大大提高了泵的出口压力。法国 alcatle 公司生产的一种采用气体静承和动密封的复合分子泵，pfeiffer分子泵有噪音，可以做到完全无油，且不用前级泵直接向---中排气。
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